鎢燈絲掃描電鏡的燈絲壽命相對較短，一般只有幾十個小時。燈絲壽命直接影響掃描電鏡運行成本、有效運行時間、儀器性能等。因此日常維護保養(yǎng)要格外注意燈絲的保養(yǎng)。
1.保持鏡筒的高真空度
隨時注意鏡筒是否存在微小泄露，同時保證各級泵的性能，必要時要更換泵油。再有就是待觀察樣品應(yīng)盡量干燥、無揮發(fā)性物質(zhì)。
2.適當(dāng)增加燈絲高度
燈絲工作時發(fā)射電子束，燈絲的發(fā)射束流與燈絲的加熱電流和燈絲高度有關(guān)，燈絲高度越大，則燈絲達飽和點的工作溫度就越低，燈絲表面蒸發(fā)得也越慢。因此在保證理論高度的條件下，我們可以將燈絲高度適當(dāng)增加。新型掃描電鏡一般配有幾個可選燈絲墊片，其型號不一樣，厚薄也不一樣。在滿足觀察要求的情況下，我們可以選擇厚一點的墊片以增加燈絲高度，減少燈絲飽和電流。
3.及時手動調(diào)整燈絲電流
在掃描電鏡使用過程中，應(yīng)經(jīng)常觀察燈絲的飽和程度，當(dāng)發(fā)現(xiàn)燈絲電流不在飽和狀態(tài)時，適當(dāng)手動調(diào)整燈絲電流，使燈絲處于飽和狀態(tài)。另外新型掃描電鏡電子槍的調(diào)整一般分全自動調(diào)整和半自動調(diào)整，我們一般應(yīng)選擇半自動調(diào)整。否則，當(dāng)自動調(diào)整電子槍時，燈絲電流也將一起調(diào)整且長時間處于過大電流，極大地消耗燈絲，嚴重影響燈絲壽命。
4.準確對中燈絲
安裝、更換新燈絲時仍需檢查燈絲的對中情況，最好將安裝好的燈絲組件放在解剖鏡下再檢查一下，看燈絲是否居中，否則很容易導(dǎo)致燈絲亮度偏暗，而由此操作者又會增加偏壓或電流來提高亮度，損傷燈絲。
